| 보유기관명 |
한국과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C601 |
| 표준분류명 |
시험 |
| 시설하이 로우 토토 사이트 설명 |
-고속으로 열처리를 하는 하이 로우 토토 사이트로 반도체 및 나노 기술에 활용 -12개의 할로겐 램프를 열원으로 사용하며 radiation transfer를 이용해 wafer의 온도를 올려 temperature uniformity를 조절하여 반도체 소자의 물성을 향상시키는 하이 로우 토토 사이트 |
| 하이 로우 토토 사이트이미지코드 |
https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/202212/20221227102419866.jpg |
| 하이 로우 토토 사이트위치주소 |
자연과학동(E6-2) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2022-12-283876 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-202305267878?cloudId=202305233883 |
| 첨부파일 |
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